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第二百七十一章 成功了!光刻工厂实现了! (第2/5页)

“趁着天没亮,我们尽快测试光束的可行性吧。”陈星提醒一句。

他们现在可是关了全深城的电力供应,哪怕是凌晨4点钟,但依然会对城市造成影响。

“我马上操作。”

林天点了点头回应道。

刚说完,他立马看向设备操控台,开始输入指令,时不时还跑到一侧去操作。

光刻工厂不同于光刻机,它更像是一条完整的自动化流水线,只需要装填半导体硅片以及光刻胶与配套试剂,输入指令后就可以进行自动化生产。

林天在检验了十几束13.5纳米波长的极紫外光后,也发现了单色性最好的一条光束,将它设定为1号光刻区域。

又经过了十分钟的参数调试,排除外故障情况,林天输入了确定工作的指令。

下一秒。

运输装置自动取片。

存放在特定区域的半导体硅片被静电吸盘吸起,运送到清洗区域,洗掉附着在半导体硅片表面的灰尘和杂质。

在清洗完成以后,半导体硅片会通过特殊运输通道,运往下一个步骤进行烘烤,待半导体硅片彻底干燥将继续运往下一个步骤,涂抹光刻胶。

自动取片。

自动清洗。

自动涂胶。

自动光刻。

这就是光刻工厂,亦或者说光刻全自动工厂。

两块光掩膜版已经重叠,他们在特定

这也是为什么第一期的光刻工厂只有5000平的原因,因为建造太大也没用,像静电吸盘和各类自动化运输的设备,都是需要定制化购买的,关键有些设备国内还没有,比如静电吸盘设备。

第一期相当于测试,等测试通过就可以扩建二期、三期甚至是第四期的光刻工厂。

当然了。

前提是可以能光刻成功。

“我们没有单独完整的SOC上帝芯片光掩膜版,只能用两块阴阳掩膜版堆叠在一块形成完整图案,这又会出现个问题。”

林天喃喃自语。

像似给陈星几人解释,又像似说给自己听。

“那就是两块光掩膜版堆叠,两块透明基板会削弱极紫外光能量,导致光刻失败。”

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