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第三百二十四章 芯片供给不足?光刻工厂正式投入量产! (第5/5页)

“这是我们的荣幸。”

几人连带赵思秋,全部来到了光刻工厂的控制室,面前是控制面板和监控画面。

上次初测已经目睹过,陈星和雷兵、夏扬并没有过于惊讶,只有赵思秋眼眸闪烁震惊,不敢想象这是龙国的工业杰作,全自动生产,这比西方还牛逼。

经过参数调试,排除外故障情况,林天侧目看向陈星道:“我要启动生产了。”

“可以。”

陈星点了点头。

随着一声令下,林天将面前五个开关全部打开,这对应了光刻工厂的五条生产线。

下一秒。

运输装置被激活。

只见它自动前往硅片存放区域,将半导体硅片运送到清洗区域,洗掉附着在半导体硅片表面的灰尘和杂质。

一般来说,清晰硅片需要用到SC1清洗液或硫酸清洗液,SC1清洗液是氨水、双氧水以及水的混合物,三者比例为1比2比50,硫酸清洗液则是硫酸和双氧水的混合物,其浓度比为5:1。

在半导体硅片清洗完成后,它们会通过特殊运输通道,运往下一个步骤进行烘烤,将表面的水分蒸发,以免影响到后面的光刻。

五条生产线同时启动,数个清洗台和烘干设备都在作业。

短暂等待过后,半导体硅片已经彻底干燥,磁吸运输设备将它们运往下一个步骤,涂抹光刻胶。

自动取片。

自动清洗。

自动涂胶。

自动光刻。

光刻工厂的自动化流水线,让赵思秋目瞪口呆,难以想象这居然是自己国家的流水线,西方也没有这么先进的吧?

其他人则比较淡定,因为上次已经见识过了。

当ArF光刻正胶涂抹完成,它们将自动运输到光刻区域。

值得一提的是,光刻工厂有上百个光刻区域,这些光刻区域是可以挑选和建设的。

例如我需要13.5纳米波长的极紫外光,就可以在光刻工厂停止运行后,调整光刻位置和参数,就拥有了13.5纳米波长的光刻区域。

再比如说,我不需要13.5纳米波长的极紫外光,我需要7纳米的,同样可以把13.5纳米波长的光刻区域调整到7纳米光线区,就拥有7纳米的光刻区域。

灵活取光运用,也是光刻工厂的一个优势。

随着半导体硅片抵达指定区域,透镜组设备立即移动到指定位置,13.5纳米波长的极紫外光发生了折射,精准地照射在光掩膜版上,上面的完整图案被照射后,最终落到待曝光的半导体硅片表面。

“滋——”

ArF光刻正胶遇到光源,内部开始发生化学反应。

当整块半导体硅片被光刻了一遍,它也随之前往下一个步骤,清洗光刻胶。

……

控制室的众人目睹全自动化生产,没有一人说话,都在紧张等待最终的结果。

上次是生产完成一次后,光刻工厂出现电能不稳定情况,现在五个工作台一起启动,如果能完美运行一小时,就说明之前的努力都是有用的。

清洗。

切割。

测试。

检验报告传回。

林天看着数据,看向陈星道:“上帝芯片数据没有问题,全部参数都达标了。”

“好。”

陈星微微颔首。

这个结果上次已经知道了,他现在最想知道的是,光刻工厂这次能运行多长时间。

“滴答滴答——”

时间一分一秒过去。

半小时。

一小时。

两小时。

四小时。

众人足足等了四小时,就这样站着没有人说话。

如果仔细看的话,陈星额头汗水都冒出来了,这段时间实在有点过于煎熬。

半小时的时候,希望它能坚持一小时,一小时以后,又希望它运行两小时,两小时以后吧,又期盼突破三小时…

也就在这时,林天打破了寂静的气氛道:“我想不需要等了,再等下去大家都要通宵,总裁,如你所见,光刻工厂已实现量产,有什么任务指示?”

已经运行了足足四小时,但凡有什么毛病,早就该出现了,陈星也不会质疑林天,毕竟他是红色品质的顶级人才。

当听见“任务指示”四个字,陈星立马就想到了困扰他的芯片供给需求问题,沉声道:“从此刻开始,光刻工厂投入量产作业,全力生产上帝芯片供给龙兴科技公司!”

“同时!”

陈星话锋一转,继续下达任务:“扩建二期、三期光刻工厂,明白了吗?”

“明白!”

林天点了点头。

他微微握紧拳头,自己的掌握技术终于有用武之地了。

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